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微波等離子體化學(xué)氣相沉積法（MPCVD）是指在真空腔體中通入高純度的氫氣（H2）和甲烷氣體（CH4），氫氣在微波的作用下產(chǎn)生等離子體火球，甲烷氣體在等離子作用下打開化學(xué)鍵變成了游離的碳原子（C）和氫原子（H），游離的碳原子在強大能量的等離子作用下逐步會沉積在腔體底部的金剛石種子上，使種子逐步長厚最終形成與天然金剛石結(jié)構(gòu)成分完全一樣的CVD金剛石。